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微電子機(jī)械加工手藝，包羅體微機(jī)械加工手藝、概況微機(jī)械加工手藝、LIGA手藝（X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制手藝）、激光微加工手藝和微型封裝手藝等。MEMS的成長，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和靠得住性程度提高到了新的高度。傳感器的檢測(cè)儀表，在微電子手藝根本上，內(nèi)置微處置器，或把微傳感器和微處置器及相關(guān)集成電（運(yùn)算放大器、A/D或D/A、存貯器、收集通信接口電）等封裝在一路完成了數(shù)字化、智能化、收集化、系統(tǒng)化。（注：MEMS手藝還完成了微電動(dòng)機(jī)或施行器等產(chǎn)物，將另作文引見）收集化方面，目上次要是指采用多種現(xiàn)場(chǎng)線和以太網(wǎng)（互聯(lián)網(wǎng)），這要按各行業(yè)的特點(diǎn)，選擇此中的一種或多種，近年內(nèi)zui風(fēng)行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。除MEMS外，新型傳感器的成長還有賴于新型材料、元件和納米手藝，如新一代光纖傳感器、超導(dǎo)傳感器、焦平面陳列紅外探測(cè)器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、收集化傳感器、智能傳感器、恍惚傳感器、多功能傳感器等。

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多傳感器數(shù)據(jù)融合手藝正在構(gòu)成熱點(diǎn)，它構(gòu)成于20世紀(jì)80年代，它分歧于一般信號(hào)處置，也分歧于單個(gè)或多個(gè)傳感器的監(jiān)測(cè)和丈量，而是對(duì)基于多個(gè)傳感器丈量成果根本上的更高條理的分析決策過程。有鑒于傳感器手藝的微型化、智能化程度提高，在消息獲取根本上，多種功能進(jìn)一步集成致使于融合，這是必然的趨向，多傳感器數(shù)據(jù)融合手藝也推進(jìn)了傳感器手藝的成長。多傳感器數(shù)據(jù)融合的定義歸納綜合：把分布在分歧的多個(gè)同類或分歧類傳感器所供給的局部數(shù)據(jù)資本加以分析，采用計(jì)較機(jī)手藝對(duì)其進(jìn)行闡發(fā)，消弭多傳感器消息之間可能具有的冗余和矛盾，加以互補(bǔ)，降低其不確實(shí)性，獲得被測(cè)對(duì)象的分歧性注釋與描述，從而提高系統(tǒng)決策、規(guī)劃、反映的快速性和準(zhǔn)確性，使系統(tǒng)獲得更充實(shí)的消息。其消息融合在分歧消息條理上呈現(xiàn)，包羅數(shù)據(jù)層（像素層）融合、特征層融合、決策層（層）融合。因?yàn)樗葐我粋鞲衅飨⒂腥缦麻L處，即容錯(cuò)性、互補(bǔ)性、及時(shí)性、經(jīng)濟(jì)性，所以逐漸獲得推廣使用。使用范疇除軍事外，已合用于主動(dòng)化手藝、機(jī)械人、海洋、地動(dòng)觀測(cè)、建筑、空中交通管制、醫(yī)學(xué)診斷、遙感手藝等方面。
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